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Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33204 DELTA IV Flow Ratio Controller

Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33204 DELTA IV Flow Ratio Controller

Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33204 DELTA IV Flow Ratio Controller

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile in magazzino e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    DLT2A2-33204

  • Ordine (MOQ):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origine del prodotto:

    USA

  • Colore:

    As Model

  • Porto di spedizione:

    Xiamen

  • Tempi di consegna：

    2-3 days
Richiedi informazioni adesso
  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

Il MKS DELTA IV (scritto anche Delta IV) è un controllore compatto e ad alta precisione del rapporto di flusso a 4 zone (FRC) che divide e controlla accuratamente i flussi di gas di processo verso più zone o camere. Parte della rinomata serie DELTA di MKS, consente un controllo a rapporto in anello chiuso per la produzione avanzata, garantendo una distribuzione uniforme del gas su wafer, pannelli o substrati. Ideale per processi di etching, PECVD, sputtering e ALD, il DELTA IV elimina l’instabilità delle valvole manuali e degli orifizi fissi, offrendo una uniformità superiore e una ripetibilità di processo eccellente.
 
 
 
Specifiche principali:
  1. MKS DELTA IV controllore del rapporto di flusso a 4 zone
  2. Suddivisione precisa del gas: 1 ingresso → 4 uscite controllate
  3. Range: 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm per canale
  4. Precisione del rapporto ±2%, ripetibilità ±0,3%
  5. Comunicazione digitale EtherCAT o DeviceNet
  6. Struttura compatta, di grado semiconduttore (5 μin Ra)
 
 
 

Applicazioni:

  1. Semiconduttori: etching, PECVD, ALD, sputtering, controllo dell’uniformità a livello wafer
  2. Flat Panel e display: distribuzione uniforme del gas per processi su larga area
  3. Solare e fotovoltaico: deposizione di film sottili, bilanciamento del flusso in camera
  4. Vuoto industriale: pulizia al plasma, trattamento delle superfici, rivestimento multi-zona

 

 

FAQ:

Q1:Qual è la condizione del prodotto e la garanzia?
A:Articoli nuovi originali. Garanzia di 1 anno inclusa.

Q2:Quali sono le vostre condizioni di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.

Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C’è disponibilità sufficiente in magazzino?
A:I modelli standard sono disponibili in stock, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l’ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.

Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.

Q5:Imballaggio e sicurezza

 

A:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.

 

 

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