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Nuovo di fabbrica MKS DLT2A2-32121 DELTA IV controllore del rapporto di flusso

Nuovo di fabbrica MKS DLT2A2-32121 DELTA IV controllore del rapporto di flusso

Nuovo di fabbrica MKS DLT2A2-32121 DELTA IV controllore del rapporto di flusso

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile in magazzino e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    DLT2A2-32121

  • Ordine (MOQ):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origine del prodotto:

    USA

  • Colore:

    As Model

  • Porto di spedizione:

    Xiamen

  • Tempi di consegna：

    2-3 days
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  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

Il MKS DELTA IV (scritto anche come Delta IV) è un controller compatto ad alta precisione a 4 zone per il rapporto di flusso (FRC) che divide e controlla con accuratezza i flussi di gas di processo verso più zone o camere. Parte della rinomata serie DELTA di MKS, consente il controllo in anello chiuso del rapporto per la produzione avanzata, garantendo una distribuzione uniforme e costante del gas su wafer, pannelli o substrati. Ideale per processi di etch, PECVD, sputtering e ALD, il DELTA IV elimina l’instabilità delle valvole manuali e degli orifizi fissi, offrendo una uniformità superiore e una ripetibilità di processo eccellente.
 
 
 
Specifiche principali:
  1. MKS DELTA IV 4-zone flow ratio controller
  2. Suddivisione precisa del gas: 1 ingresso → 4 uscite controllate
  3. Range: 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm per canale
  4. Accuratezza del rapporto ±2%, ripetibilità ±0.3%
  5. Comunicazione digitale EtherCAT o DeviceNet
  6. Struttura compatta, di grado semiconduttore (5 μin Ra)
 
 
 

Applicazioni:

  1. Semiconduttori: etch, PECVD, ALD, sputtering, controllo dell’uniformità a livello wafer
  2. Pannelli piatti & display: distribuzione uniforme del gas per processi su ampia area
  3. Solare & fotovoltaico: deposizione di film sottili, bilanciamento del flusso in camera
  4. Vuoto industriale: pulizia al plasma, trattamento superficiale, rivestimento multi-zona

 

 

FAQ:

Q1:Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A:Articoli nuovi originali. Garanzia di 1 anno inclusa.

Q2:Quali sono le condizioni di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.

Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
A:Modelli standard disponibili in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine al produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.

Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.

Imballaggio e sicurezza

 

A:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.

 

 

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