Descrizione:
I manometri capacitivi MKS Baratron sono trasduttori di vuoto/pressione assoluta ad alta precisione di fascia premium, lo standard del settore per le apparecchiature di processo a vuoto nel settore dei semiconduttori. Basati su una tecnologia brevettata di rilevamento a diaframma capacitivo, forniscono una lettura della pressione indipendente dal tipo di gas, completamente non influenzata dalla composizione del gas di processo. Ampiamente compatibili con AMAT, LAM Research e le principali piattaforme di fabbricazione dei wafer, offrono un controllo della pressione a circuito chiuso ultra stabile per processi di etching, CVD, PVD, ALD e sistemi di erogazione gas, garantendo una precisione del vuoto di camera costante e migliorando la resa produttiva nella produzione di semiconduttori.
Specifiche principali:
- Accuratezza di alto livello fino a ±0,25% della lettura, risoluzione ultra-fine dello 0,01% del fondo scala, eccellente stabilità a lungo termine e deriva minima per soddisfare i rigorosi requisiti dei processi nei semiconduttorirequirementsMKS.
- Il diaframma e le parti a contatto con i fluidi adottano lega di nichel Inconel® / Incoloy® o acciaio inossidabile 316L con struttura completamente saldata, resistente ai gas di processo speciali corrosivi. Test di tenuta al 100% prima della consegna per un funzionamento sicuro in ambienti al plasma estremi.
- Coprendo dal vuoto ultra-fine fino ad alta pressione: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. I modelli riscaldati (45℃ / 100℃ opzionali) prevengono efficacemente la condensazione dei mezzi di processo volatili per evitare deviazioni di misura.
Applicazioni:
- Apparecchiature per fabbriche di semiconduttori: sistemi di incisione AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Controllo del vuoto di precisione per deposizione di film sottili, incisione al plasma e impianto ionico
- Armadio gas MFC, sistema di pompaggio del vuoto, rilevamento perdite e interblocco di sicurezza della pressione
- FV solare, rivestimento LED, lavorazione farmaceutica sotto vuoto e test di vuoto ad alta precisione in laboratorio
FAQ:
Q1:Qual è la situazione del prodotto e come funziona la garanzia?
A:Articoli nuovi originali. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:Quali sono le vostre condizioni di pagamento?
A:Bonifico bancario (T/T), Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è disponibilità sufficiente?
A:Modelli standard disponibili in stock, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l'ordine al produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link fornito dopo la spedizione. Monitoraggio dell'intero processo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Imballaggio originale del brand con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per strumenti di precisione). Resistente all'umidità e agli urti.