Descrizione:
I manometri capacitivi MKS Baratron sono trasduttori assoluti di vuoto/pressione ad alta precisione di fascia premium, lo standard industriale per le apparecchiature di processo sotto vuoto per semiconduttori. Basati sulla tecnologia brevettata di rilevamento a diaframma capacitivo, forniscono una lettura della pressione indipendente dal tipo di gas, completamente non influenzata dalla composizione del gas di processo. Ampamente compatibili con AMAT, LAM Research e le principali piattaforme di fabbricazione di wafer, forniscono un controllo della pressione in anello chiuso ultra stabile per sistemi di etching, CVD, PVD, ALD e di erogazione gas, garantendo una precisione del vuoto in camera costante e migliorando la resa produttiva nella produzione di semiconduttori.
Specifiche principali:
- Precisione di alto livello fino a ±0.25% della lettura, risoluzione ultra-fine dello 0.01% Full Scale, eccellente stabilità a lungo termine e deriva minima per soddisfare i severi requisiti dei processi semiconduttoriMKS.
- Il diaframma e le parti a contatto adottano lega di nichel Inconel® / Incoloy® oppure acciaio inossidabile 316L con struttura completamente saldata, resistenti ai gas di processo speciali corrosivi. Testati al 100% per le perdite prima della consegna per un funzionamento sicuro in ambienti al plasma difficili.
- Coprendo dal vuoto ultra-fine fino ad alta pressione: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelli riscaldati (45℃ / 100℃ opzionali) prevengono efficacemente la condensazione dei mezzi di processo volatili per evitare deviazioni di misura.
Applicazioni:
- Apparecchiature per fabbriche di semiconduttori: sistemi di etching AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Controllo di vuoto di precisione per deposizione di film sottili, etching al plasma e impiantazione ionica
- Armadio gas MFC, sistema di pompaggio del vuoto, rilevamento perdite e interblocco di sicurezza della pressione
- Fotovoltaico solare, rivestimento LED, lavorazione sotto vuoto farmaceutica e test di vuoto ad alta precisione in laboratorio
FAQ:
D1: Qual è la condizione del prodotto e la garanzia?
R: Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
D2: Quali sono i vostri termini di pagamento?
R: T/T, Paypal supportati.
D3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
R: Modelli standard in stock, spediti in 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine al produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.
D4: Spedizione e tracciamento
R: DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
D5: Imballaggio e sicurezza
R: Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, scatole sigillate, casse di legno per strumenti di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.