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Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33196 DELTA IV Flow Ratio Controller

Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33196 DELTA IV Flow Ratio Controller

Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33196 DELTA IV Flow Ratio Controller

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile & consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    DLT2A2-33196

  • Ordine (MOQ):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origine del prodotto:

    USA

  • Colore:

    As Model

  • Porto di spedizione:

    Xiamen

  • Tempi di consegna：

    2-3 days
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  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

MKS DELTA IV (anche scritto Delta IV) è un controllore di rapporto di flusso (FRC) compatto e ad alta precisione a 4 zone che suddivide e controlla accuratamente i flussi di gas di processo verso più zone o camere. Parte della rinomata serie DELTA di MKS, consente il controllo del rapporto in anello chiuso per la produzione avanzata, garantendo una distribuzione uniforme del gas su wafer, pannelli o substrati. Ideale per processi di etching, PECVD, sputtering e ALD, il DELTA IV elimina l’instabilità di valvole manuali e orifizi fissi, offrendo una uniformità superiore e una maggiore ripetibilità del processo.
 
 
 
Specifiche chiave:
  1. MKS DELTA IV controllore di rapporto di flusso a 4 zone
  2. Suddivisione precisa del gas: 1 ingresso → 4 uscite controllate
  3. Intervalli: 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm per canale
  4. Accuratezza del rapporto ±2%, ripetibilità ±0.3%
  5. Comunicazione digitale EtherCAT o DeviceNet
  6. Struttura compatta di grado semiconduttore (5 μin Ra)
 
 
 

Applicazioni：

  1. Semiconduttori: etching, PECVD, ALD, sputtering, controllo dell’uniformità a livello wafer
  2. Flat Panel & Display: distribuzione uniforme del gas per processi su ampia area
  3. Solare & FV: deposizione di film sottili, bilanciamento del flusso in camera
  4. Vuoto industriale: pulizia al plasma, trattamento superficiale, rivestimento multi-zona

 

 

FAQ:

D1:Qual è la situazione del prodotto e come funziona la garanzia?
R:Articoli nuovi e originali. Garanzia di 1 anno inclusa.

D2:Quali sono le vostre condizioni di pagamento?
R:T/T, Paypal supportati.

D3: Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C'è inventario sufficiente?
R:Modelli standard disponibili in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordinazione dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.

D4:Spedizione e tracciamento
R:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio dell’intero processo da parte del nostro team.

D5:Imballaggio e sicurezza

 

R:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse in legno per strumenti di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.

 

 

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