Descrizione:
I manometri a capacità MKS Baratron sono trasduttori di pressione/vuoto assoluti ad alta precisione di fascia premium, lo standard del settore per le apparecchiature di processo a vuoto per semiconduttori. Basati sulla tecnologia brevettata di sensori a diaframma capacitivo, forniscono una lettura della pressione indipendente dal tipo di gas, completamente non influenzata dalla composizione del gas di processo. Ampiamente utilizzati con AMAT, LAM Research e le principali piattaforme di fabbricazione di wafer, offrono un controllo di pressione a circuito chiuso ultra-stabile per sistemi di etching, CVD, PVD, ALD e di erogazione gas, garantendo una precisione del vuoto in camera costante e migliorando la resa produttiva nella produzione di semiconduttori.
Specifiche principali:
- Accuratezza di prim’ordine fino a ±0,25% della lettura, risoluzione ultra-fine dello 0,01% del fondo scala, eccellente stabilità a lungo termine e deriva minima per soddisfare i severi requisiti dei processi a semiconduttoriMKS.
- Il diaframma e le parti a contatto con il fluido adottano lega di nichel Inconel® / Incoloy® o acciaio inox 316L con struttura completamente saldata, resistente ai gas di processo speciali corrosivi. Testato al 100% contro le perdite prima della consegna per un funzionamento sicuro in ambienti al plasma estremi.
- Copre dal vuoto ultra-fine all’alta pressione: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. I modelli riscaldati (45℃ / 100℃ opzionali) prevengono efficacemente la condensazione dei mezzi di processo volatili per evitare deviazioni di misura.
Applicazioni:
- Attrezzature per fabbricazione semiconduttori: AMAT Centura/Endura, sistemi di etching LAM Kiyo/2300
- Controllo del vuoto di precisione per deposizione di film sottili, etching al plasma e impiantazione ionica
- Armadio gas MFC, sistema di pompaggio del vuoto, rilevamento perdite e interlock di sicurezza della pressione
- Fotovoltaico solare, rivestimento LED, lavorazione farmaceutica sotto vuoto e test di vuoto ad alta precisione in laboratorio
FAQ:
Q1:Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A:Prodotti originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:Quali sono le condizioni di pagamento?
A:Supportati T/T, Paypal.
Q3: Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità in magazzino?
A:Modelli standard disponibili in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine al produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per strumenti di precisione). Resistente a umidità e urti.