Descrizione:
I manometri capacitivi MKS Baratron sono trasduttori di vuoto/pressione assoluti ad alta precisione di livello premium, lo standard industriale per le apparecchiature di processo sotto vuoto per semiconduttori. Basati su tecnologia brevettata di rilevamento a diaframma capacitivo, offrono una lettura della pressione indipendente dal tipo di gas, completamente non influenzata dalla composizione del gas di processo. Ampiamente compatibili con AMAT, LAM Research e le principali piattaforme di fabbricazione dei wafer, forniscono un controllo della pressione in anello chiuso ultra-stabile per sistemi di etching, CVD, PVD, ALD e di distribuzione dei gas, garantendo una precisione del vuoto di camera costante e migliorando la resa produttiva nella produzione di semiconduttori.
Specifiche chiave:
- Precisione di alto livello fino a ±0,25% della lettura, risoluzione ultra-fine dello 0,01% del fondo scala, eccellente stabilità a lungo termine e deriva minima per soddisfare i rigorosi requisiti dei processi nei semiconduttoriMKS.
- Il diaframma e le parti a contatto con il fluido sono realizzati in lega di nichel Inconel® / Incoloy® o acciaio inossidabile 316L con struttura completamente saldata, resistente ai gas di processo speciali corrosivi. Testati al 100% contro le perdite prima della consegna per un funzionamento sicuro in ambienti al plasma estremi.
- Copre da vuoto ultra-fine fino ad alta pressione: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. I modelli riscaldati (opzionali a 45℃ / 100℃) prevengono efficacemente la condensazione dei mezzi di processo volatili per evitare deviazioni di misura.
Applicazioni:
- Apparecchiature per fabbriche di semiconduttori: sistemi di etching AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Controllo di precisione del vuoto per deposizione di film sottili, etching al plasma e impiantazione ionica
- Cabinet gas MFC, sistema di pompaggio del vuoto, rilevamento perdite e interblocco di sicurezza della pressione
- FV solare, rivestimenti LED, lavorazione farmaceutica sotto vuoto e test di laboratorio ad alta precisione del vuoto
Domande frequenti:
Q1: Qual è la condizione del prodotto e la garanzia?
A: Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2: Quali sono le condizioni di pagamento?
A: Bonifico bancario (T/T), Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C’è disponibilità sufficiente in magazzino?
A: Modelli standard disponibili in magazzino, spedizione entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordinazione dal produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.
Q4: Spedizione e tracciamento
A: Disponibili DHL/FedEx/UPS. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo da parte del nostro team.
Q5: Imballaggio e sicurezza
A: Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.