Descrizione:
I manometri capacitivi MKS Baratron sono trasduttori di vuoto/pressione assoluti ad alta precisione di fascia premium, lo standard del settore per le apparecchiature di processo del vuoto nei semiconduttori. Basati su una tecnologia brevettata di rilevamento a diaframma capacitivo, forniscono una lettura della pressione indipendente dal tipo di gas, completamente non influenzata dalla composizione del gas di processo. Ampiamente compatibili con AMAT, LAM Research e le principali piattaforme di fabbricazione wafer, offrono un controllo di pressione in anello chiuso ultra stabile per sistemi di etching, CVD, PVD, ALD e di distribuzione dei gas, garantendo una precisione costante del vuoto in camera e migliorando il rendimento produttivo nella produzione di semiconduttori.
Specifiche principali:
- Accuratezza di livello top fino a ±0,25% della lettura, risoluzione ultra-fine dello 0,01% del fondo scala, eccellente stabilità a lungo termine e deriva minima per soddisfare i severi requisiti dei processi nei semiconduttoriMKS.
- Il diaframma e le parti a contatto con il fluido adottano lega di nichel Inconel® / Incoloy® oppure acciaio inossidabile 316L con struttura completamente saldata, resistenti ai gas di processo speciali corrosivi. Test di tenuta al 100% prima della consegna per un funzionamento sicuro in ambienti al plasma severi.
- Copre il vuoto ultrafine fino ad alta pressione: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. I modelli riscaldati (45℃ / 100℃ opzionali) prevengono efficacemente la condensazione di mezzi di processo volatili per evitare deviazioni di misura.
Applicazioni:
- Apparecchiature per fabbriche di semiconduttori: AMAT Centura/Endura, sistemi di etching LAM Kiyo/2300
- Controllo di vuoto di precisione per deposizione di film sottili, etching al plasma e impianto ionico
- Armadio gas MFC, sistema di pompaggio del vuoto, rilevamento perdite e interblocco di sicurezza della pressione
- Fotovoltaico solare, rivestimento LED, lavorazione farmaceutica sotto vuoto e test di vuoto ad alta precisione in laboratorio
FAQ:
Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: Articoli nuovi originali. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2: Quali sono le condizioni di pagamento?
A: T/T, Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
A: Modelli standard in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine al produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.
Q4: Spedizione e tracciamento
A: DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5: Imballaggio e sicurezza
A: Confezione originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse in legno per strumenti di precisione). Resistente a umidità e urti.