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Nuovo di zecca MKS DLTNA3-30335 DELTA IV Flow Ratio Controller

Nuovo di zecca MKS DLTNA3-30335 DELTA IV Flow Ratio Controller

Nuovo di zecca MKS DLTNA3-30335 DELTA IV Flow Ratio Controller

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    DLTNA3-30335

  • Ordine (MOQ):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origine del prodotto:

    USA

  • Colore:

    As Model

  • Porto di spedizione:

    Xiamen

  • Tempi di consegna：

    2-3 days
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  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

Il MKS DELTA IV (scritto anche come Delta IV) è un controllore del rapporto di flusso a 4 zone compatto e ad alta precisione (FRC) che suddivide e controlla accuratamente i flussi di gas di processo verso più zone o camere. Parte della rinomata serie DELTA di MKS, consente il controllo a rapporto in anello chiuso per la produzione avanzata, garantendo una distribuzione uniforme del gas su wafer, pannelli o substrati. Ideale per processi di etch, PECVD, sputtering e ALD, il DELTA IV elimina l’instabilità di valvole manuali e orifizi fissi, offrendo una superiore uniformità e ripetibilità del processo.
 
 
 
Specifiche principali:
  1. MKS DELTA IV controllore del rapporto di flusso a 4 zone
  2. Suddivisione precisa del gas: 1 ingresso → 4 uscite controllate
  3. Range: 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm per canale
  4. Accuratezza del rapporto ±2%, ripetibilità ±0,3%
  5. Comunicazione digitale EtherCAT o DeviceNet
  6. Struttura compatta di grado semiconduttore (5 μin Ra)
 
 
 

Applicazioni：

  1. Semiconduttori: Etch, PECVD, ALD, sputtering, controllo dell’uniformità a livello wafer
  2. Flat Panel & Display: distribuzione uniforme del gas per lavorazioni su ampia area
  3. Solare & PV: deposizione di film sottili, bilanciamento del flusso nella camera
  4. Vuoto industriale: pulizia al plasma, trattamento superficiale, rivestimento multi-zona

 

 

FAQ:

Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.

Q2:What is your payment terms?
A:Supportati T/T e PayPal.

Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:Modelli standard disponibili in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l’ordine al produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.

Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio dell’intero processo da parte del nostro team.

Q5:Imballaggio e sicurezza

 

A:Confezione originale del brand con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.

 

 

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