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Nuovo di zecca Lam Research 98008SA10F3P1 Controllore di portata massica

Nuovo di zecca Lam Research 98008SA10F3P1 Controllore di portata massica

Nuovo di zecca Lam Research 98008SA10F3P1 Controllore di portata massica

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

In magazzino e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    98008SA10F3P1
  • Ordine (MOQ):

    1
  • Pagamento:

    100% T/T
  • Origine del prodotto:

    USA
  • Colore:

    As Model
  • Porto di spedizione:

    Xiamen
  • Tempi di consegna:

    2-3 days
  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

I MFC di LAM Research sono componenti mission-critical per la produzione di semiconduttori, progettati per regolare le portate dei gas con eccezionale precisione nei sistemi di incisione (etch), ashing e deposizione di LAM. Costruiti per soddisfare le rigorose esigenze della fabbricazione a nodi 5nm–7nm, questi controller mantengono una fornitura di gas costante, influenzando direttamente l’uniformità dei wafer, la resa e la stabilità del processo. Che si tratti di gas di incisione fluorurati, gas vettori inerti o gas reattivi di deposizione, i MFC LAM offrono prestazioni affidabili e ripetibili in ambienti cleanroom operativi 24/7.
 
 
Specifiche chiave:
  1. Controller di portata massica OEM LAM Research (MFC)
  2. ±1% FS accuratezza, ±0.1% ripetibilità per processi su scala nanometrica
  3. Range: 10 sccm–10 slm; compatibile con NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar
  4. Interfacce: Analogiche (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. Parti a contatto con il fluido 316L SS/PTFE; raccordi VCR da 1/4"
 

 

Applicazioni tipiche:

  1. Incisione semiconduttori: processi di etch dielettrico, conduttivo e del silicio (2300 Versys, TCP9600)
  2. Deposizione (CVD/PVD): deposizione di film sottili per nodi avanzati
  3. Processi al plasma: ashing, stripping e trattamento delle superfici
  4. Fabbricazione wafer: impianti da 200mm/300mm, processi 5nm–7nm

 

 

FAQ:

Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: Articoli originali nuovi. Garanzia inclusa di 1 anno.

Q2: Quali sono le condizioni di pagamento?
A: Supportati T/T, Paypal.

Q3: Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C'è disponibilità sufficiente in magazzino?
A: Modelli standard disponibili in magazzino, spedizione entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.

Q4: Spedizione e tracciamento
A: Disponibili DHL/FedEx/UPS. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.

Q5: Imballaggio e sicurezza

 

A: Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.

 

 

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