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Nuovo di zecca Lam Research 98008RFRSA10P1 controllore di flusso di massa

Nuovo di zecca Lam Research 98008RFRSA10P1 controllore di flusso di massa

Nuovo di zecca Lam Research 98008RFRSA10P1 controllore di flusso di massa

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile a magazzino e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    98008RFRSA10P1

  • Ordine (MOQ):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origine del prodotto:

    USA

  • Colore:

    As Model

  • Porto di spedizione:

    Xiamen

  • Tempi di consegna：

    2-3 days
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  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

I MFC di LAM Research sono componenti mission-critical per la produzione di semiconduttori, progettati per regolare le portate dei gas con un’accuratezza eccezionale nei sistemi di etching, ash e deposizione di LAM. Costruiti per soddisfare le rigorose esigenze della fabbricazione a nodi da 5nm–7nm, questi controller mantengono una fornitura di gas costante, influenzando direttamente l’uniformità dei wafer, la resa e la stabilità del processo. Che si tratti di gas di etching fluorurati, gas carrier inerti o gas reattivi per deposizione, gli MFC LAM offrono prestazioni affidabili e ripetibili in ambienti cleanroom operativi 24/7.
 
 
Specifiche chiave:
  1. Controller di flusso di massa OEM (MFC) di LAM Research
  2. accuratezza ±1% FS, ripetibilità ±0,1% per processi su scala nanometrica
  3. Range: 10 sccm–10 slm; compatibile con NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar
  4. Interfacce: analogiche (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. Bagnato 316L SS/PTFE; raccordi VCR da 1/4"
 

 

Applicazioni tipiche:

  1. Etching dei semiconduttori: processi di incisione dielettrica, conduttiva e del silicio (2300 Versys, TCP9600)
  2. Deposizione (CVD/PVD): deposizione di film sottili per nodi avanzati
  3. Processi al plasma: ashing, stripping e trattamento superficiale
  4. Fabbricazione di wafer: fab 200mm/300mm, processi 5nm–7nm

 

 

FAQ:

Q1:Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
R: Articoli nuovi originali. Garanzia inclusa di 1 anno.

Q2:Quali sono le condizioni di pagamento?
R: Supportati T/T e Paypal.

Q3: Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C’è sufficiente disponibilità di magazzino?
R: Modelli standard in stock, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.

Q4:Spedizione e tracciamento
R: Disponibili DHL/FedEx/UPS. Numero di tracking + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.

Q5:Imballaggio e sicurezza

 

R: Imballaggio originale del brand con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.

 

 

Tag correlati : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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