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Nuovo di zecca Lam Research 98008SA10F3P2 Controllore di portata massica

Nuovo di zecca Lam Research 98008SA10F3P2 Controllore di portata massica

Nuovo di zecca Lam Research 98008SA10F3P2 Controllore di portata massica

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile in magazzino e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    98008SA10F3P2
  • Ordine (MOQ):

    1
  • Pagamento:

    100% T/T
  • Origine del prodotto:

    USA
  • Colore:

    As Model
  • Porto di spedizione:

    Xiamen
  • Tempi di consegna:

    2-3 days
  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

I MFC di LAM Research sono componenti critici per la produzione di semiconduttori, progettati per regolare i flussi di gas con precisione eccezionale nei sistemi di incisione, ashing e deposizione di LAM. Costruiti per soddisfare le rigorose esigenze della fabbricazione di nodi da 5 nm a 7 nm, questi controller mantengono una distribuzione del gas costante, influenzando direttamente l'uniformità del wafer, la resa e la stabilità del processo. Che si tratti di gas di incisione fluorurati, gas carrier inerti o gas reattivi per deposizione, i MFC di LAM garantiscono prestazioni affidabili e ripetibili in ambienti di cleanroom operativi 24/7.
 
 
Specifiche principali:
  1. Controller di flusso massico (MFC) OEM LAM Research
  2. Precisione ±1% FS, ripetibilità ±0,1% per processi su scala nanometrica
  3. Range: 10 sccm–10 slm; compatibile con NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar
  4. Interfacce: Analogico (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. Materiali a contatto con il fluido: 316L SS/PTFE; raccordi VCR 1/4"
 

 

Applicazioni tipiche:

  1. Incisione semiconduttori: Processi di incisione di dielettrici, conduttori e silicio (2300 Versys, TCP9600)
  2. Deposizione (CVD/PVD): Deposizione di film sottili per nodi avanzati
  3. Processi al plasma: Ashing, stripping e trattamento superficiale
  4. Fabbricazione di wafer: fab da 200mm/300mm, processi a 5nm–7nm

 

 

FAQ:

Q1:Qual è la situazione del prodotto e come funziona la garanzia?
A:Articoli originali nuovi di zecca. Garanzia di 1 anno inclusa.

Q2:Quali sono le condizioni di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.

Q3:Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
A:Modelli standard disponibili a magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l'ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.

Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio dell'intero processo da parte del nostro team.

Q5:Imballaggio e sicurezza

 

A:Confezione originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per attrezzature di precisione). Resistente all'umidità e agli urti.

 

 

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