Descrizione:
Il Lam Research Temperature Control Board è un componente centrale di gestione termica per sistemi di incisione (etch), deposizione e lavorazione dei wafer nei semiconduttori. Fornisce una regolazione della temperatura multi-canale ad alta precisione per mantenere una rigorosa uniformità termica tra camere di processo, chuck elettrostatici (ESC) e stadi dei wafer. Progettato per funzionamento 24/7 in ambienti ad alto vuoto, alta temperatura e plasma, garantisce una temperatura del wafer costante, stabilizza le ricette di processo e massimizza la resa produttiva. Le schede OEM originali Lam garantiscono compatibilità plug-and-play, calibrazione precisa e affidabilità a lungo termine per fab di semiconduttori a nodi avanzati (2nm/3nm).
Specifiche principali:
- Assemblaggio PCB originale Lam Research, completamente compatibile con etcher Kiyo, piattaforme ExAL e sistemi CVD/PVD. Calibrato e testato in fabbrica per un'integrazione senza interruzioni.
- Supporta 16–24 canali (ingressi Pt100 RTD/termocoppia); raggiunge una stabilità di ±0,1°C nell'intervallo 25–150°C tramite algoritmi PID ad auto-tuning.
- Controllo a circuito chiuso per riscaldamento/raffreddamento (compatibile TEC); feedback dei sensori in tempo reale con campionamento a 500 Hz; compensazione della deriva ambientale e del ritardo dei sensori.
- Classificato per vuoto (≤1×10⁻⁶ Torr), schermato EMI, resistente alle vibrazioni; opera in modo affidabile a 0–55°C con immunità alle interferenze plasma e RF.
- Design modulare, hot-swappable per sostituzione rapida; diagnostica integrata per temperatura, stato dei sensori e registrazione dei guasti; riduce i tempi di inattività non pianificati.
Applicazioni tipiche:
- Sistemi di incisione al plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, serie 9000)
- Apparecchiature per deposizione di film sottili CVD/PVD/ALD
- Camere di processo wafer da 200mm / 300mm e ESC
- Fabbriche avanzate di logica/memoria (nodi 2nm/3nm)
- Manutenzione di fab di semiconduttori, ricambi e aggiornamenti
FAQ:
Q1:Qual è la condizione del prodotto e la garanzia?
A:Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:Quali sono i termini di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.
Q3:Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è inventario sufficiente?
A:Modelli standard disponibili in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordinazione dal produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all'umidità e agli urti.