Descrizione:
Lam Research Temperature Control Board è un componente centrale di gestione termica per sistemi di incisione, deposizione e lavorazione dei wafer dei semiconduttori. Fornisce una regolazione della temperatura multi-canale ad alta precisione per mantenere una rigorosa uniformità termica in tutte le camere di processo, mandrini elettrostatici (ESC) e stadi dei wafer. Progettato per funzionamento 24/7 in ambienti ad alto vuoto, alta temperatura e plasma, garantisce una temperatura del wafer costante, stabilizza le ricette di processo e massimizza la resa produttiva. Le schede OEM originali Lam garantiscono compatibilità plug-and-play, calibrazione precisa e affidabilità a lungo termine per fabbriche di semiconduttori a nodi avanzati (2nm/3nm).
Specifiche chiave:
- Original Lam Research PCB assembly, completamente compatibile con Kiyo etchers, piattaforme ExAL e sistemi CVD/PVD. Calibrato e testato in fabbrica per un'integrazione senza problemi.
- Supporta 16–24 canali (ingressi Pt100 RTD/termocoppia); raggiunge stabilità di ±0.1°C nell'intervallo 25–150°C tramite algoritmi PID di auto-tuning.
- Controllo a ciclo chiuso per riscaldamento/raffreddamento (compatibile TEC); feedback del sensore in tempo reale con campionamento a 500Hz; compensazione della deriva ambientale e del ritardo del sensore.
- Classificato per vuoto (≤1×10⁻⁶ Torr), schermato EMI, resistente alle vibrazioni; funziona in modo affidabile a 0–55°C con immunità alle interferenze di plasma e RF.
- Design modulare e hot-swappable per sostituzione rapida; diagnostica integrata per temperatura, stato dei sensori e registrazione dei guasti; riduce i tempi di inattività non pianificati.
Applicazioni tipiche:
- Sistemi di incisione al plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, serie 9000)
- Apparecchiature di deposizione di film sottili CVD/PVD/ALD
- Camere di processo wafer da 200mm / 300mm e ESC
- Fabbriche di semiconduttori logiche/memoria avanzate (nodi 2nm/3nm)
- Manutenzione, ricambi e aggiornamenti per fabbriche di semiconduttori
FAQ:
Q1:Qual è la condizione del prodotto e la garanzia?
A:Articoli originali nuovi di zecca. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:Quali sono i termini di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente inventario?
A:Modelli standard disponibili in magazzino, spediti in 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l'ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibile. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.