Descrizione:
Lam Research Temperature Control Board è un componente centrale di gestione termica per sistemi di incisione (etch), deposizione e processazione di wafer nei semiconduttori. Fornisce una regolazione della temperatura multi-canale ad alta precisione per mantenere una rigorosa uniformità termica tra camere di processo, electrostatic chucks (ESCs) e stadi wafer. Progettato per funzionamento 24/7 in ambienti ad alto vuoto, alta temperatura e plasma, garantisce temperatura del wafer costante, stabilizza le ricette di processo e massimizza la resa produttiva. Le schede OEM originali Lam garantiscono compatibilità plug-and-play, calibrazione precisa e affidabilità a lungo termine per fabbriche di semiconduttori avanzati (nodi 2nm/3nm).
Specifiche principali:
- Assemblaggio PCB originale Lam Research, completamente compatibile con gli etcher Kiyo, le piattaforme ExAL e i sistemi CVD/PVD. Calibrato e testato in fabbrica per un'integrazione senza interruzioni.
- Supporta 16–24 canali (ingressi Pt100 RTD/termocoppia); raggiunge una stabilità di ±0.1°C nell'intervallo 25–150°C tramite algoritmi PID ad auto-tuning.
- Controllo a circuito chiuso per riscaldamento/raffreddamento (compatibile TEC); feedback dei sensori in tempo reale con campionamento a 500Hz; compensazione della deriva ambientale e del ritardo dei sensori.
- Classificato per vuoto (≤1×10⁻⁶ Torr), schermato EMI, resistente alle vibrazioni; funziona in modo affidabile a 0–55°C con immunità alle interferenze plasma e RF.
- Design modulare hot-swappable per una sostituzione rapida; diagnostica onboard per temperatura, stato dei sensori e registrazione dei guasti; riduce i tempi di fermo non pianificati.
Applicazioni tipiche:
- Sistemi di incisione al plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, serie 9000)
- Apparecchiature per deposizione di film sottili CVD/PVD/ALD
- Camere di processo wafer da 200mm / 300mm ed ESCs
- Fonderie avanzate di logica/memoria (nodi 2nm/3nm)
- Manutenzione di fabbriche di semiconduttori, pezzi di ricambio e aggiornamenti
FAQ:
Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: Prodotti originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2: Quali sono i termini di pagamento?
A: Supportati T/T, Paypal.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente inventario?
A: Modelli standard disponibili a magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordinazione dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4: Spedizione e tracciamento
A: Disponibili DHL/FedEx/UPS. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5: Imballaggio e sicurezza
A: Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.