Descrizione:
MKS RF Matchers (chiamati anche RF matching boxes/networks) sono dispositivi di adattamento automatico dell’impedenza ad alte prestazioni progettati per sistemi al plasma industriali e per semiconduttori. Allineano dinamicamente l’impedenza di uscita a 50Ω dei generatori RF con l’impedenza variabile delle camere al plasma, degli etcher, delle apparecchiature PECVD e degli strumenti di sputtering, minimizzando la potenza riflessa e massimizzando l’efficienza di trasferimento di potenza. Grazie a una sintonia rapida, a una schermatura robusta e a design compatti da rack, garantiscono un’accensione del plasma stabile, prestazioni di processo costanti e affidabilità produttiva 24/7. Disponibili nuovi, ricondizionati e usati completamente testati.
Specifiche principali:
- Adattamento automatico dell’impedenza: sintonizzazione in tempo reale per abbinare l’uscita del generatore a 50Ω all’impedenza variabile del carico plasma; minimizza la potenza riflessa (tipicamente
- Velocità di sintonia rapida: risposta ad alta velocità (
- Ampia copertura di frequenza e potenza: supporta 13.56MHz (standard), 27.12MHz, 40.68MHz; potenze da 300W a 10kW
- Costruzione robusta: involucro metallico per impieghi gravosi con schermatura EMI/RFI; raffreddamento ad aria standard (opzione raffreddata ad acqua per modelli ad alta potenza)
- Componenti di precisione: condensatori variabili, induttori e motori stepper di alta qualità per lunga durata del ciclo (1.000.000+ cicli)
Applicazioni:
- Produzione di semiconduttori: incisione RIE/ICP, deposizione PECVD/LPCVD, ashing al plasma, pulizia wafer, sistemi load lock
- Rivestimento sotto vuoto: sputtering, evaporazione, deposizione di film sottili PVD/CVD per ottica, display e celle solari
- Trattamento industriale al plasma: attivazione superficiale, pulizia, incisione e rivestimento per metalli, plastiche e ceramiche
- Ricerca e sviluppo: laboratori universitari, istituti di ricerca e linee pilota di produzione che richiedono erogazione RF al plasma stabile
FAQ:
Q1:Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A:Prodotti originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:Quali sono le condizioni di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C’è sufficiente disponibilità in magazzino?
A:Modelli standard disponibili in magazzino, spedizione entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l’ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Confezione originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.