Descrizione:
MKS RF Matchers (chiamati anche RF matching boxes/networks) sono dispositivi di adattamento di impedenza automatico ad alte prestazioni progettati per sistemi al plasma industriali e per semiconduttori. Allineano dinamicamente l’impedenza di uscita a 50Ω dei generatori RF con l’impedenza variabile delle camere al plasma, degli etcher, dei sistemi PECVD e degli strumenti di sputtering, riducendo la potenza riflessa e massimizzando l’efficienza di trasferimento di potenza. Caratterizzati da una sintonizzazione rapida, schermatura robusta e design compatti montabili su rack, garantiscono accensione stabile del plasma, prestazioni di processo costanti e affidabilità produttiva 24/7. Disponibili in condizioni nuove, ricondizionate e usate completamente testate.
Specifiche principali:
- Adattamento automatico dell’impedenza: sintonizzazione in tempo reale per adattare l’uscita del generatore a 50Ω all’impedenza variabile del carico al plasma; minimizza la potenza riflessa (tipicamente
- Velocità di sintonizzazione elevata: risposta ad alta velocità (
- Ampia copertura di frequenza e potenza: supporta 13.56MHz(standard), 27.12MHz, 40.68MHz; potenze nominali da 300W a 10kW
- Struttura robusta: robusto contenitore metallico con schermatura EMI/RFI; raffreddamento ad aria standard(opzione a raffreddamento a liquido per modelli ad alta potenza)
- Componenti di precisione: condensatori variabili di alta qualità, induttori e motori stepper per lunga durata del ciclo (1,000,000+ cicli)
Applicazioni:
- Produzione di semiconduttori: incisione RIE/ICP, deposizione PECVD/LPCVD, ashing al plasma, pulizia dei wafer, sistemi load lock
- Rivestimento in vuoto: sputtering, evaporazione, deposizione di film sottili PVD/CVD per ottica, display e celle solari
- Trattamento industriale al plasma: attivazione superficiale, pulizia, incisione e rivestimento per metalli, plastiche e ceramiche
- Ricerca e sviluppo: laboratori universitari, istituti di ricerca e linee di produzione pilota che richiedono una fornitura stabile di plasma RF
FAQ:
Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2: Quali sono i termini di pagamento?
A: T/T, Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
A: Modelli standard disponibili in magazzino, spediti in 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4: Spedizione e tracciamento
A: DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio dell’intero processo da parte del nostro team.
Q5: Imballaggio e sicurezza
A: Confezione originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.