Descrizione:
MKS RF Matchers (anche chiamati RF matching boxes/reti di adattamento RF) sono dispositivi automatici di adattamento dell’impedenza ad alte prestazioni progettati per sistemi al plasma industriali e per semiconduttori. Allineano dinamicamente l’impedenza di uscita a 50Ω dei generatori RF con la variabile impedenza delle camere al plasma, degli etcher, dei sistemi PECVD e degli strumenti di sputtering, riducendo al minimo la potenza riflessa e massimizzando l’efficienza di trasferimento della potenza. Dotati di sintonizzazione rapida, schermatura robusta e design compatti da rack, garantiscono un’ignizione stabile del plasma, prestazioni di processo costanti e affidabilità produttiva 24/7. Disponibili in condizioni nuove, ricondizionate e completamente testate usate.
Specifiche principali:
- Adattamento automatico dell’impedenza: regolazione in tempo reale per adattare l’uscita del generatore a 50Ω alla variabile impedenza del carico plasma; minimizza la potenza riflessa (tipicamente
- Velocità di sintonizzazione rapida: risposta ad alta velocità (
- Ampia copertura di frequenza e potenza: supporta 13,56MHz (standard), 27,12MHz, 40,68MHz; potenze da 300W a 10kW
- Struttura robusta: contenitore metallico ad alta resistenza con schermatura EMI/RFI; raffreddamento ad aria standard (opzione a raffreddamento ad acqua per modelli ad alta potenza)
- Componenti di precisione: condensatori variabili, induttori e motori passo-passo di alta qualità per una lunga durata del ciclo (oltre 1.000.000 di cicli)
Applicazioni:
- Produzione di semiconduttori: incisione RIE/ICP, deposizione PECVD/LPCVD, ashing al plasma, pulizia wafer, sistemi load lock
- Rivestimento sotto vuoto: sputtering, evaporazione, deposizione di film sottili PVD/CVD per ottica, display e celle solari
- Trattamento industriale al plasma: attivazione superficiale, pulizia, incisione e rivestimento per metalli, plastiche e ceramiche
- Ricerca e sviluppo: laboratori universitari, istituti di ricerca e linee pilota di produzione che richiedono una fornitura RF del plasma stabile
FAQ:
Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2: Quali sono i termini di pagamento?
A: T/T, Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è disponibilità sufficiente?
A: Modelli standard disponibili a magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine al produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.
Q4: Spedizione e tracciamento
A: DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5: Imballaggio e sicurezza
A: Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, scatole sigillate, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.