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Nuovo di zecca MKS DLT2A223163R210 DELTA IV Controller del rapporto di flusso

Nuovo di zecca MKS DLT2A223163R210 DELTA IV Controller del rapporto di flusso

Nuovo di zecca MKS DLT2A223163R210 DELTA IV Controller del rapporto di flusso

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    DLT2A223163R210

  • Ordine (MOQ):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origine del prodotto:

    USA

  • Colore:

    As Model

  • Porto di spedizione:

    Xiamen

  • Tempi di consegna：

    2-3 days
Richiedi informazioni adesso
  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

Il MKS DELTA IV (anche scritto Delta IV) è un controllore di rapporto di flusso (FRC) compatto e ad alta precisione a 4 zone che divide e controlla con accuratezza i flussi di gas di processo verso più zone o camere. Parte della rinomata serie DELTA di MKS, consente il controllo in anello chiuso del rapporto per la produzione avanzata, garantendo una distribuzione uniforme del gas su wafer, pannelli o substrati. Ideale per processi di etching, PECVD, sputtering e ALD, il DELTA IV elimina l’instabilità di valvole manuali e orifizi fissi, offrendo una uniformità superiore e ripetibilità del processo.
 
 
 
Specifiche principali:
  1. MKS DELTA IV controllore di rapporto di flusso a 4 zone
  2. Suddivisione precisa del gas: 1 ingresso → 4 uscite controllate
  3. Range: 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm per canale
  4. Accuratezza del rapporto ±2%, ripetibilità ±0.3%
  5. Comunicazione digitale EtherCAT o DeviceNet
  6. Costruzione compatta di grado semiconduttore (5 μin Ra)
 
 
 

Applicazioni:

  1. Semiconduttori: Etching, PECVD, ALD, sputtering, controllo di uniformità a livello wafer
  2. Flat Panel & Display: distribuzione uniforme del gas per processi su ampia area
  3. Solare & FV: deposizione di film sottili, bilanciamento del flusso in camera
  4. Vuoto industriale: pulizia al plasma, trattamento superficiale, rivestimento multi-zona

 

 

FAQ:

Q1:Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.

Q2:Quali sono i termini di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.

Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente inventario?
A:Modelli standard in stock, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.

Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracking + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.

Q5:Imballaggio e sicurezza

 

A:Imballaggio originale del brand con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse in legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.

 

 

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