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Nuovo di zecca MKS DLT2A213163AA DELTA IV controllore del rapporto di flusso

Nuovo di zecca MKS DLT2A213163AA DELTA IV controllore del rapporto di flusso

Nuovo di zecca MKS DLT2A213163AA DELTA IV controllore del rapporto di flusso

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    DLT2A213163AA

  • Ordine (MOQ):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origine del prodotto:

    USA

  • Colore:

    As Model

  • Porto di spedizione:

    Xiamen

  • Tempi di consegna：

    2-3 days
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  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

Il MKS DELTA IV (anche scritto come Delta IV) è un compatto controller del rapporto di flusso a 4 zone ad alta precisione (FRC) che divide e controlla accuratamente i flussi di gas di processo verso più zone o camere. Come parte della rinomata serie DELTA di MKS, consente il controllo del rapporto in anello chiuso per la produzione avanzata, garantendo una distribuzione uniforme del gas su wafer, pannelli o substrati. Ideale per processi di etching, PECVD, sputtering e ALD, il DELTA IV elimina l’instabilità di valvole manuali e orifizi fissi, offrendo una uniformità superiore e ripetibilità di processo.
 
 
 
Specifiche principali:
  1. Controller del rapporto di flusso a 4 zone MKS DELTA IV
  2. Suddivisione precisa del gas: 1 ingresso → 4 uscite controllate
  3. Ranges: 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm per canale
  4. Accuratezza del rapporto ±2%, ripetibilità ±0.3%
  5. Comunicazione digitale EtherCAT o DeviceNet
  6. Struttura compatta, di grado semiconduttore (5 μin Ra)
 
 
 

Applicazioni：

  1. Semiconduttori: Etch, PECVD, ALD, sputtering, controllo di uniformità a livello wafer
  2. Flat Panel & Display: distribuzione uniforme del gas per lavorazioni su ampia area
  3. Solare & PV: deposizione di film sottili, bilanciamento del flusso in camera
  4. Vuoto industriale: pulizia al plasma, trattamento superficiale, rivestimento multi-zona

 

 

FAQ:

Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: Articoli nuovi e originali. Garanzia di 1 anno inclusa.

Q2: Quali sono le vostre condizioni di pagamento?
A: T/T, Paypal supportati.

Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
A: Modelli standard disponibili in magazzino, spediti in 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine al produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.

Q4: Spedizione e tracciamento
A: DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.

Q5: Imballaggio e sicurezza

 

A: Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.

 

 

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