Descrizione:
I manometri a capacità MKS Baratron sono trasduttori di vuoto/pressione assoluta premium ad alta precisione, lo standard industriale per le apparecchiature di processo sotto vuoto per semiconduttori. Basati sulla tecnologia brevettata di rilevamento a diaframma capacitivo, forniscono una lettura della pressione indipendente dal tipo di gas, completamente non influenzata dalla composizione del gas di processo. Ampiamente utilizzati con AMAT, LAM Research e le principali piattaforme di fabbricazione di wafer, offrono un controllo della pressione in anello chiuso ultra-stabile per sistemi di incisione, CVD, PVD, ALD e di erogazione gas, garantendo una precisione del vuoto di camera costante e migliorando la resa produttiva nella produzione di semiconduttori.
Specifiche principali:
- Accuratezza di altissimo livello fino a ±0,25% della lettura, risoluzione ultra-fine dello 0,01% del fondo scala, eccellente stabilità a lungo termine e deriva minima per soddisfare i rigorosi requisiti dei processi a semiconduttore MKS.
- Il diaframma e le parti a contatto adottano lega di nichel Inconel® / Incoloy® o acciaio inossidabile 316L con struttura completamente saldata, resistenti ai gas di processo speciali corrosivi. Testati al 100% per la tenuta prima della consegna per un funzionamento sicuro in ambienti al plasma difficili.
- Coprendo dal vuoto ultra-fine all’alta pressione: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. I modelli riscaldati (45℃ / 100℃ opzionali) prevengono efficacemente la condensazione dei fluidi di processo volatili per evitare deviazioni di misura.
Applicazioni:
- Apparecchiature per fabbriche di semiconduttori: sistemi di incisione AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Controllo preciso del vuoto per deposizione di film sottili, incisione al plasma e impiantazione ionica
- Armadi gas MFC, sistemi di pompaggio del vuoto, rilevamento perdite e interblocchi di sicurezza della pressione
- Fotovoltaico solare, rivestimento LED, lavorazione farmaceutica sotto vuoto e test di vuoto ad alta precisione in laboratorio
FAQ:
Q1:Qual è lo stato del prodotto e la garanzia?
A:Prodotti originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:Quali sono i termini di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.
Q3: Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
A:Modelli standard disponibili a magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l’ordine al produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Confezione originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, scatole sigillate, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.