Descrizione:
I manometri capacitivi MKS Baratron sono trasduttori di pressione/vuoto assoluto ad alta precisione di livello premium, lo standard industriale per le apparecchiature di processo sotto vuoto nel settore dei semiconduttori. Basati sulla tecnologia brevettata di rilevamento a diaframma capacitivo, forniscono una lettura della pressione indipendente dal tipo di gas, completamente non influenzata dalla composizione del gas di processo. Ampiamente utilizzati con AMAT, LAM Research e le principali piattaforme di fabbricazione wafer, offrono un controllo della pressione in anello chiuso ultra stabile per sistemi di etching, CVD, PVD, ALD e di distribuzione dei gas, garantendo una precisione del vuoto in camera costante e migliorando la resa produttiva nella produzione di semiconduttori.
Specifiche principali:
- Precisione di alto livello fino a ±0.25% della lettura, risoluzione ultra-fine dello 0.01% Full Scale, eccellente stabilità a lungo termine e deriva minima per soddisfare i rigorosi requisiti dei processi dei semiconduttoriMKS.
- Le parti a diaframma e le parti a contatto con il fluido sono realizzate in lega di nichel Inconel® / Incoloy® o acciaio inossidabile 316L con struttura completamente saldata, resistenti ai gas di processo speciali corrosivi. Testati al 100% per perdite prima della consegna per garantire un funzionamento sicuro in ambienti al plasma difficili.
- Copre dal vuoto ultra-fine fino ad alta pressione: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. I modelli riscaldati (45℃ / 100℃ opzionali) prevengono efficacemente la condensazione dei media di processo volatili per evitare deviazioni di misurazione.
Applicazioni:
- Apparecchiature per semiconduttori: sistemi di incisione AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Controllo di precisione del vuoto per deposizione di film sottili, etching al plasma e impianto ionico
- Cabinet gas MFC, sistema di pompaggio del vuoto, rilevamento perdite e interblocco di sicurezza della pressione
- FV solare, rivestimento LED, lavorazione sotto vuoto farmaceutica e test di vuoto ad alta precisione in laboratorio
FAQ:
Q1:Qual è la situazione del prodotto e come funziona la garanzia?
A:Prodotti originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:Quali sono le vostre condizioni di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.
Q3: Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
A:Modelli standard disponibili a magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Imballaggio originale del brand con protezione rinforzata (schiuma, scatole sigillate, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.