Descrizione:
Gli spettrometri a fibra ottica LAM Research sono dispositivi di monitoraggio ottico ad alta precisione integrati per apparecchiature di lavorazione dei wafer semiconduttori. Principalmente abbinati a moduli ottici professionali, adottano un design di trasmissione a fibra ottica per acquisire emissioni di plasma, spettri di riflessione e trasmissione all’interno delle camere di processo. Ampiamente utilizzati per il rilevamento del punto finale dell’etching, la metrologia dei film sottili e il monitoraggio in tempo reale delle condizioni del plasma, queste unità garantiscono prestazioni di processo stabili, migliorano la resa produttiva e riducono i prodotti difettosi nei processi di etching, CVD, PVD e altre procedure di produzione sotto vuoto. Come componenti compatibili OEM originali, presentano un’eccellente compatibilità e affidabilità a lungo termine per l’intera serie di strumenti di processo LAM.
Specifiche principali:
- Dotati di rivelatori CCD/PMT ad alta sensibilità, offrono un’eccellente risoluzione spettrale e basso rumore. Coprono la gamma di lunghezze d’onda UV-visibile per soddisfare le diverse esigenze di monitoraggio dei processi semiconduttori.
- Le interfacce standard in fibra SMA supportano la trasmissione del segnale a lunga distanza. Le sonde compatibili con il vuoto funzionano in modo stabile in ambienti ad alto vuoto, alta temperatura e plasma.
- L’analisi spettrale in tempo reale consente una valutazione precisa del punto finale dell’etching, la misurazione dello spessore dei film sottili e delle proprietà ottiche, evitando efficacemente sovra-etching e sotto-etching.
- Le porte di comunicazione Ethernet e RS-232 integrate sono pienamente compatibili con i protocolli delle apparecchiature LAM per uno scambio dati e un’integrazione di sistema senza interruzioni.
- Struttura compatta e robusta con capacità antivibrazione e anti-interferenza. Supporta il funzionamento continuo 24/7 e una facile sostituzione in loco.
Applicazioni tipiche:
- Sistemi di incisione al plasma, apparecchiature di deposizione di film sottili CVD, PVD e ALD
- Rilevamento del punto finale nei processi di incisione dei wafer
- Misurazione in situ dello spessore dei film sottili e della riflettanza
- Analisi in tempo reale dello stato del plasma per camere di processo sotto vuoto
- LAM Research 2300, 9400, ExAL e altre piattaforme di processo principali
FAQ:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Prodotti originali nuovi di zecca. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal supportati.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:Modelli standard in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l’ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per i tempi.
Q4:Shipping & Tracking
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo da parte del nostro team.
Q5:Packaging & Safety
A:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, scatole sigillate, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.