Descrizione:
Gli spettrometri a fibra ottica LAM Research sono dispositivi di monitoraggio ottico ad alta precisione integrati per apparecchiature di lavorazione dei wafer semiconduttori. Principalmente abbinati a moduli ottici professionali, adottano un design di trasmissione in fibra ottica per acquisire emissioni di plasma, spettri di riflessione e trasmissione all'interno delle camere di processo. Ampiamente utilizzati per il rilevamento del punto finale dell'etch, la metrologia dei film sottili e il monitoraggio in tempo reale delle condizioni del plasma, queste unità garantiscono prestazioni di processo stabili, migliorano la resa produttiva e riducono i prodotti difettosi nei processi di incisione, CVD, PVD e altre procedure di produzione in vuoto. Come componenti OEM compatibili originali, offrono eccellente compatibilità e affidabilità a lungo termine per gli strumenti di processo della serie completa LAM.
Specifiche principali:
- Dotati di rivelatori CCD/PMT ad alta sensibilità, offrono un'eccellente risoluzione spettrale e basso rumore. Coprono il range di lunghezze d'onda UV-visible per soddisfare le diverse esigenze di monitoraggio dei processi semiconduttori.
- Le interfacce in fibra standard SMA supportano la trasmissione del segnale a lunga distanza. Le sonde compatibili con il vuoto funzionano stabilmente in ambienti ad alto vuoto, alta temperatura e plasma.
- L'analisi spettrale in tempo reale consente una valutazione precisa del punto finale dell'etch, della misura dello spessore dei film sottili e delle proprietà ottiche, evitando efficacemente sovra-etching e sotto-etching.
- Porte di comunicazione Ethernet e RS-232 integrate, pienamente compatibili con i protocolli delle apparecchiature LAM per una perfetta interazione dei dati e integrazione di sistema.
- Struttura compatta e robusta con capacità anti-vibrazione e anti-interferenza. Supporta funzionamento continuo 24/7 e facile sostituzione in loco.
Applicazioni tipiche:
- Sistemi di incisione al plasma, apparecchiature di deposizione di film sottili CVD, PVD e ALD
- Rilevamento del punto finale per i processi di incisione dei wafer
- Misurazione in situ dello spessore dei film sottili e della riflettanza
- Analisi in tempo reale dello stato del plasma per camere di processo sotto vuoto
- LAM Research 2300, 9400, ExAL e altre piattaforme di processo principali
FAQ:
Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
R: Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2: Quali sono i termini di pagamento?
R: T/T, Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
R: Modelli standard in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine al produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4: Spedizione e tracciamento
R: DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio dell'intero processo da parte del nostro team.
Q5: Imballaggio e sicurezza
R: Imballaggio originale del brand con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse in legno per strumenti di precisione). Resistente all'umidità e agli urti.