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Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33200 DELTA IV Controller del rapporto di flusso

Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33200 DELTA IV Controller del rapporto di flusso

Nuovo di zecca MKS DLT2A2-33200 DELTA IV Controller del rapporto di flusso

Elevata precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

In magazzino e consegna veloce in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    DLT2A2-33200
  • Ordine (MOQ):

    1
  • Pagamento:

    100% T/T
  • Origine del prodotto:

    USA
  • Colore:

    As Model
  • Porto di spedizione:

    Xiamen
  • Tempi di consegna:

    2-3 days
  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

MKS DELTA IV (scritto anche come Delta IV) è un controller di rapporto di flusso (FRC) compatto e ad alta precisione a 4 zone che suddivide e controlla con accuratezza i flussi di gas di processo verso più zone o camere. Come parte della rinomata serie DELTA di MKS, consente il controllo a rapporto in anello chiuso per la produzione avanzata, garantendo una distribuzione uniforme del gas su wafer, pannelli o substrati. Ideale per processi di etching, PECVD, sputtering e ALD, il DELTA IV elimina l’instabilità di valvole manuali e orifizi fissi, offrendo una uniformità superiore e una ripetibilità del processo.
 
 
 
Specifiche principali:
  1. Controller di rapporto di flusso a 4 zone MKS DELTA IV
  2. Suddivisione precisa del gas: 1 ingresso → 4 uscite controllate
  3. Range: 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm per canale
  4. Accuratezza del rapporto ±2%, ripetibilità ±0.3%
  5. Comunicazione digitale EtherCAT o DeviceNet
  6. Costruzione compatta di grado semiconduttore (5 μin Ra)
 
 
 

Applicazioni:

  1. Semiconduttori: etching, PECVD, ALD, sputtering, controllo di uniformità a livello wafer
  2. Flat Panel e Display: distribuzione uniforme del gas per processi su ampia area
  3. Solare e fotovoltaico: deposizione di film sottili, bilanciamento del flusso in camera
  4. Vuoto industriale: pulizia al plasma, trattamento superficiale, rivestimento multi-zona

 

 

FAQ:

Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.

Q2: Quali sono i termini di pagamento?
A: T/T, PayPal supportati.

Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C’è sufficiente disponibilità di magazzino?
A: Modelli standard disponibili a magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l’ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.

Q4: Spedizione e tracciamento
A: DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio dell’intero processo da parte del nostro team.

Q5: Imballaggio e sicurezza

 

A: Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, scatole sigillate, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.

 

 

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