Descrizione:
MKS Baratron capacitance manometers sono trasduttori assoluti di vuoto/pressione ad alta precisione di fascia premium, lo standard industriale per le apparecchiature di processo sotto vuoto nel settore dei semiconduttori. Basati sulla tecnologia brevettata di rilevamento a diaframma capacitivo, forniscono una lettura della pressione indipendente dal tipo di gas, completamente non influenzata dalla composizione del gas di processo. Ampiamente utilizzati con AMAT, LAM Research e le principali piattaforme di fabbricazione di wafer, offrono un controllo della pressione a circuito chiuso ultra-stabile per sistemi di etching, CVD, PVD, ALD e di erogazione gas, garantendo una precisione del vuoto in camera costante e migliorando la resa produttiva nella produzione di semiconduttori.
Specifiche principali:
- Precisione di alto livello fino a ±0.25% della lettura, risoluzione ultra-fine dello 0.01% Full Scale, eccellente stabilità a lungo termine e deriva minima per soddisfare i severi requisiti dei processi nei semiconduttoriMKS.
- I diaframmi e le parti a contatto con i fluidi utilizzano lega di nichel Inconel® / Incoloy® oppure acciaio inossidabile 316L con struttura completamente saldata, resistente ai gas di processo speciali corrosivi. Testato al 100% contro le perdite prima della consegna per un funzionamento sicuro in ambienti al plasma aggressivi.
- Copre il vuoto ultra-fine fino all’alta pressione: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. I modelli riscaldati (45℃ / 100℃ opzionali) prevengono efficacemente la condensazione dei fluidi di processo volatili per evitare deviazioni di misura.
Applicazioni:
- Apparecchiature per fabbriche di semiconduttori: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 sistemi di etching
- Controllo del vuoto di precisione per deposizione di film sottili, etching al plasma e impianto ionico
- Armadio gas MFC, sistema di pompaggio del vuoto, rilevamento perdite e interblocco di sicurezza della pressione
- Fotovoltaico solare, rivestimento LED, processi di vuoto farmaceutici e test di vuoto ad alta precisione in laboratorio
FAQ:
Q1: Qual è la condizione del prodotto e come funziona la garanzia?
A: Prodotti originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2: Quali sono i termini di pagamento?
A: T/T, Paypal supportati.
Q3: Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C'è sufficiente disponibilità di magazzino?
A: Modelli standard disponibili a magazzino, spediti in 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordinazione dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4: Spedizione e tracciamento
A: DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio dell’intero processo da parte del nostro team.
Q5: Imballaggio e sicurezza
A: Confezione originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, scatole sigillate, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all’umidità e agli urti.