Nuovo di zecca controller automatico della valvola di scarico della pressione MKS 152E-P0

1. Stabilizzazione della pressione di precisione con PID conforme agli standard industriali
2. Doppie modalità di funzionamento per soddisfare esigenze produttive diversificate
3. Interconnessione completa dei segnali e automazione remota
4. Softstart e funzionamento stabile con protezione multipla
5. Perfetta integrazione nell’ecosistema con i componenti per vuoto MKS

Applicazione:

1. Fabbricazione di wafer a semiconduttore: macchina per incisione al plasma, apparecchiature di deposizione CVD, sistema di sputtering PVD, camera a vuoto per pulizia wafer
2. Industria optoelettronica e dei display: rivestimento di film sottili OLED/LCD, sputtering di substrati in vetro, linea di rivestimento a vuoto per lenti ottiche
3. Produzione di nuove energie: linea di produzione per deposizione di celle solari a film sottile, apparecchiature di lavorazione sotto vuoto per materiali delle batterie
4. Laboratorio e ricerca scientifica: banco di prova ad alto vuoto, forno a vuoto di precisione, piattaforma sperimentale per il trattamento superficiale dei materiali