Descrizione:
Gli spettrometri a fibra ottica LAM Research sono dispositivi di monitoraggio ottico ad alta precisione integrati per apparecchiature di processo per wafer semiconduttori. Abbinati principalmente a moduli ottici professionali, adottano un design di trasmissione in fibra ottica per catturare l’emissione di plasma, gli spettri di riflessione e trasmissione all’interno delle camere di processo. Ampiamente utilizzati per il rilevamento del punto finale dell’etch, la metrologia dei film sottili e il monitoraggio in tempo reale delle condizioni del plasma, queste unità garantiscono prestazioni di processo stabili, migliorano la resa produttiva e riducono i prodotti difettosi nei processi di incisione, CVD, PVD e altre procedure di produzione sotto vuoto. Come componenti compatibili OEM originali, presentano un’eccellente compatibilità e affidabilità a lungo termine per gli strumenti di processo della serie completa LAM.
Specifiche principali:
- Dotati di rivelatori CCD/PMT ad alta sensibilità, offrono un’eccellente risoluzione spettrale e basso rumore. Coprono la gamma di lunghezze d’onda UV-visibile per soddisfare le diverse esigenze di monitoraggio dei processi semiconduttori.
- Le interfacce standard in fibra SMA supportano la trasmissione del segnale a lunga distanza. Le sonde compatibili con il vuoto funzionano stabilmente in ambienti ad alto vuoto, alta temperatura e plasma.
- L’analisi spettrale in tempo reale consente una valutazione precisa del punto finale dell’etch, della misura dello spessore dei film sottili e delle proprietà ottiche, evitando efficacemente sovra-etch e sotto-etch.
- Le porte di comunicazione Ethernet e RS-232 integrate sono pienamente compatibili con i protocolli delle apparecchiature LAM per uno scambio dati senza interruzioni e l’integrazione del sistema.
- Struttura compatta e robusta con capacità anti-vibrazione e anti-interferenza. Supporta il funzionamento continuo 24/7 e una facile sostituzione in loco.
Applicazioni tipiche:
- Sistemi di incisione al plasma, apparecchiature di deposizione di film sottili CVD, PVD e ALD
- Rilevamento del punto finale nei processi di incisione dei wafer
- Misurazione in situ dello spessore dei film sottili e della riflettanza
- Analisi in tempo reale dello stato del plasma per camere di processo sotto vuoto
- LAM Research 2300, 9400, ExAL e altre piattaforme di processo principali
FAQ:
Q1:What è la situazione del prodotto e come funziona la garanzia?
A:Prodotti originali nuovi. Garanzia inclusa di 1 anno.
Q2:What sono i termini di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.
Q3: What è il tempo di consegna del prodotto? C’è sufficiente disponibilità di magazzino?
A:Modelli standard disponibili in magazzino, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l’ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo del processo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.