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Nuovo di zecca Lam Research 98008SA6F3P1 controller di flusso di massa

Nuovo di zecca Lam Research 98008SA6F3P1 controller di flusso di massa

Nuovo di zecca Lam Research 98008SA6F3P1 controller di flusso di massa

Alta precisione, prestazioni stabili

Adatto all'automazione industriale

Disponibile e consegna rapida in tutto il mondo

  • Articolo n.:

    98008SA6F3P1

  • Ordine (MOQ):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origine del prodotto:

    USA

  • Colore:

    As Model

  • Porto di spedizione:

    Xiamen

  • Tempi di consegna：

    2-3 days
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  • Dettagli del prodotto

Descrizione:

I MFC di LAM Research sono componenti mission-critical per la produzione di semiconduttori, progettati per regolare le portate di gas con eccezionale precisione nei sistemi di etch, ash e deposizione di LAM. Costruiti per soddisfare le rigorose esigenze della fabbricazione a nodi 5nm–7nm, questi controller mantengono una fornitura di gas costante, influenzando direttamente l’uniformità del wafer, la resa e la stabilità del processo. Che si tratti di gas di etch fluorurati, gas carrier inerti o gas reattivi di deposizione, i MFC LAM offrono prestazioni affidabili e ripetibili in ambienti cleanroom 24/7.
 
 
Specifiche principali:
  1. Controller di flusso di massa OEM (MFC) LAM Research
  2. accuratezza ±1% FS, ripetibilità ±0.1% per processi su scala nanometrica
  3. Range: 10 sccm–10 slm; compatibile con NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar
  4. Interfacce: Analogico (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. Acciaio inox 316L/PTFE a contatto con il fluido; raccordi 1/4" VCR
 

 

Applicazioni tipiche:

  1. Etch dei semiconduttori: processi di etch dielettrici, conduttori e silicio (2300 Versys, TCP9600)
  2. Deposizione (CVD/PVD): deposizione di film sottili per nodi avanzati
  3. Processi al plasma: ashing, stripping e trattamento superficiale
  4. Fabbricazione di wafer: fab 200mm/300mm, processi 5nm–7nm

 

 

FAQ:

Q1:Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A:Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.

Q2:Quali sono i termini di pagamento?
A:T/T, Paypal supportati.

Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? C’è sufficiente inventario?
A:Modelli standard in stock, spediti in 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine al produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.

Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracciamento + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio completo da parte del nostro team.

Q5:Imballaggio e sicurezza

 

A:Imballaggio originale del brand con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente a umidità e urti.

 

 

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