Descrizione:
La Lam Research Temperature Control Board è un componente centrale di gestione termica per sistemi di etching, deposizione e lavorazione wafer dei semiconduttori. Fornisce una regolazione della temperatura multi-canale ad alta precisione per mantenere una rigorosa uniformità termica tra camere di processo, electrostatic chucks (ESCs) e stadi wafer. Progettata per funzionamento 24/7 in ambienti ad alto vuoto, alta temperatura e plasma, garantisce temperatura del wafer costante, stabilizza le ricette di processo e massimizza la resa produttiva. Le schede OEM originali Lam garantiscono compatibilità plug-and-play, calibrazione precisa e affidabilità a lungo termine per fabbriche di semiconduttori advanced-node (2nm/3nm).
Specifiche chiave:
- Assemblaggio PCB originale Lam Research, completamente compatibile con Kiyo etchers, piattaforme ExAL e sistemi CVD/PVD. Calibrato in fabbrica e testato per un'integrazione senza interruzioni.
- Supporta 16–24 canali (ingressi Pt100 RTD/termocoppia); raggiunge una stabilità di ±0,1°C nell'intervallo 25–150°C tramite algoritmi PID ad autotuning.
- Controllo a circuito chiuso per riscaldamento/raffreddamento (compatibile TEC); feedback dei sensori in tempo reale con campionamento a 500 Hz; compensazione della deriva ambientale e del ritardo dei sensori.
- Classificato per vuoto (≤1×10⁻⁶ Torr), schermato EMI, resistente alle vibrazioni; funziona in modo affidabile a 0–55°C con immunità a interferenze plasma e RF.
- Design modulare hot-swappable per una sostituzione rapida; diagnostica integrata per temperatura, stato dei sensori e registrazione dei guasti; riduce i fermi non pianificati.
Applicazioni tipiche:
- Sistemi di plasma etching Lam Research (Kiyo, ExAL, serie 9000)
- Apparecchiature di deposizione di film sottili CVD/PVD/ALD
- Camere di processo wafer da 200 mm / 300 mm ed ESC
- Fabbriche avanzate di logica/memoria (nodi 2nm/3nm)
- Manutenzione di fabbriche di semiconduttori, ricambi e aggiornamenti
FAQ:
Q1: Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A: Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2: Quali sono i termini di pagamento?
A: T/T, Paypal supportati.
Q3: Qual è il tempo di consegna del prodotto? È disponibile una quantità sufficiente di inventario?
A: Modelli standard disponibili a magazzino, spediti in 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono ordine dal produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4: Spedizione e tracciamento
A: DHL/FedEx/UPS disponibili.Numero di tracciamento + link fornito post-spedizione. Monitoraggio dell'intero processo da parte del nostro team.
Q5: Imballaggio e sicurezza
A: Imballaggio originale del brand con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse in legno per apparecchiature di precisione). Resistente all'umidità e agli urti.