Descrizione:
La scheda di controllo della temperatura Lam Research è un componente centrale di gestione termica per sistemi di incisione (etch), deposizione e lavorazione dei wafer a semiconduttore. Fornisce una regolazione della temperatura multicanale ad alta precisione per mantenere una rigorosa uniformità termica all'interno delle camere di processo, dei chuck elettrostatici (ESC) e degli stadi del wafer. Progettata per funzionamento 24/7 in ambienti ad alto vuoto, alta temperatura e plasma, garantisce una temperatura del wafer costante, stabilizza le ricette di processo e massimizza la resa produttiva. Le schede OEM Lam originali garantiscono compatibilità plug-and-play, calibrazione precisa e affidabilità a lungo termine per fabbriche di semiconduttori a nodo avanzato (2nm/3nm).
Specifiche principali:
- Assemblaggio PCB originale Lam Research, completamente compatibile con etcher Kiyo, piattaforme ExAL e sistemi CVD/PVD. Calibrato e testato in fabbrica per un'integrazione senza problemi.
- Supporta 16–24 canali (ingressi Pt100 RTD/termocoppia); raggiunge una stabilità di ±0,1°C nell'intervallo 25–150°C tramite algoritmi PID con auto-tuning.
- Controllo a circuito chiuso per riscaldamento/raffreddamento (compatibile TEC); feedback dei sensori in tempo reale con campionamento a 500Hz; compensazione della deriva ambientale e del ritardo del sensore.
- Classificato per vuoto (≤1×10⁻⁶ Torr), schermato EMI, resistente alle vibrazioni; funziona in modo affidabile a 0–55°C con immunità alle interferenze di plasma e RF.
- Design modulare hot-swappable per sostituzione rapida; diagnostica onboard per temperatura, stato dei sensori e registrazione guasti; riduce i tempi di inattività non pianificati.
Applicazioni tipiche:
- Sistemi di incisione al plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, serie 9000)
- Apparecchiature per deposizione di film sottili CVD/PVD/ALD
- Camere di processo wafer da 200mm / 300mm e ESC
- Fabbriche avanzate di logica/memoria (nodi 2nm/3nm)
- Manutenzione, parti di ricambio e aggiornamenti per fabbriche di semiconduttori
FAQ:
Q1:Qual è la situazione del prodotto e la garanzia?
A:Articoli originali nuovi. Garanzia di 1 anno inclusa.
Q2:Quali sono le vostre condizioni di pagamento?
A:Accettiamo T/T, Paypal.
Q3:Quali sono i tempi di consegna del prodotto? C'è disponibilità sufficiente?
A:Modelli standard in stock, spediti entro 3–5 giorni lavorativi dopo il pagamento. I modelli rari richiedono l'ordine al produttore—contattare il servizio clienti per le tempistiche.
Q4:Spedizione e tracciamento
A:DHL/FedEx/UPS disponibili. Numero di tracking + link forniti dopo la spedizione. Monitoraggio dell'intero processo da parte del nostro team.
Q5:Imballaggio e sicurezza
A:Imballaggio originale del marchio con protezione rinforzata (schiuma, cartoni sigillati, casse di legno per apparecchiature di precisione). Resistente all'umidità e agli urti.